SETO 1.60 LENS PHOTOCHROMIG SHMC

1) Beth yw cotio troelli?

Mae cotio troelli yn weithdrefn a ddefnyddir i adneuo ffilmiau tenau unffurf ar swbstradau gwastad. Fel arfer, rhoddir ychydig bach o ddeunydd cotio ar ganol y swbstrad, sydd naill ai'n troelli ar gyflymder isel neu ddim yn troelli o gwbl. Yna caiff y swbstrad ei gylchdroi ar gyflymder hyd at 10,000 rpm i ledaenu'r deunydd cotio yn ôl grym allgyrchol. Gelwir peiriant a ddefnyddir ar gyfer cotio troelli yn orchudd troelli, neu'n syml yn troellwr.
Mae cylchdro yn parhau tra bod yr hylif yn troelli oddi ar ymylon y swbstrad, nes bod trwch a ddymunir y ffilm yn cael ei gyflawni. Mae'r toddydd cymhwysol fel arfer yn gyfnewidiol, ac yn anweddu ar yr un pryd. Po uchaf yw cyflymder onglog nyddu, y teneuach yw'r ffilm. Mae trwch y ffilm hefyd yn dibynnu ar gludedd a chrynodiad yr hydoddiant, a'r toddydd. [2] Cynhaliwyd dadansoddiad damcaniaethol arloesol o orchudd troelli gan Emslie et al., Ac mae wedi cael ei ymestyn gan lawer o awduron dilynol (gan gynnwys Wilson et al., [4] a astudiodd gyfradd ymledu mewn cotio troelli; a Danglad-Flores et al.,,, Et al., [5] a ddaeth o hyd i ddisgrifiad cyffredinol i ragweld trwch y ffilm a adneuwyd).
Defnyddir cotio troelli yn helaeth wrth ficrofabrication haenau ocsid swyddogaethol ar wydr neu swbstradau grisial sengl gan ddefnyddio rhagflaenwyr sol-gel, lle gellir ei ddefnyddio i greu ffilmiau tenau unffurf gyda thrwch nanoscale. [6] Fe'i defnyddir yn ddwys mewn ffotolithograffeg, i adneuo haenau o ffotoresist tua 1 micrometr o drwch. Mae Photoresist fel arfer yn cael ei nyddu ar 20 i 80 chwyldro yr eiliad am 30 i 60 eiliad. Fe'i defnyddir yn helaeth hefyd ar gyfer saernïo strwythurau ffotonig planar wedi'u gwneud o bolymerau.
Un fantais i droelli ffilmiau tenau cotio yw unffurfiaeth trwch y ffilm. Oherwydd hunan-lefelu, nid yw trwch yn amrywio mwy nag 1%. Fodd bynnag, gall ffilmiau mwy trwchus cotio troelli o bolymerau a ffotoresistiaid arwain at gleiniau ymyl cymharol fawr y mae gan eu planarization derfynau corfforol.