SETO 1.60 Lens Ffotocromig SHMC

1) Beth yw cotio sbin?

Mae cotio sbin yn weithdrefn a ddefnyddir i osod ffilmiau tenau unffurf ar swbstradau gwastad.Fel arfer cymhwysir ychydig bach o ddeunydd cotio ar ganol y swbstrad, sydd naill ai'n nyddu ar gyflymder isel neu ddim yn nyddu o gwbl.Yna caiff y swbstrad ei gylchdroi ar gyflymder hyd at 10,000 rpm i wasgaru'r deunydd cotio trwy rym allgyrchol.Gelwir peiriant a ddefnyddir ar gyfer cotio sbin yn coater sbin, neu'n syml troellwr.
Mae cylchdroi yn parhau tra bod yr hylif yn troelli oddi ar ymylon y swbstrad, nes cyflawni trwch dymunol y ffilm.Mae'r toddydd cymhwysol fel arfer yn gyfnewidiol, ac yn anweddu ar yr un pryd.Po uchaf yw cyflymder onglog nyddu, y deneuaf yw'r ffilm.Mae trwch y ffilm hefyd yn dibynnu ar gludedd a chrynodiad yr hydoddiant, a'r toddydd.[2]Ymgymerwyd â dadansoddiad damcaniaethol arloesol o gaenen sbin gan Emslie et al., ac mae wedi cael ei ymestyn gan lawer o awduron dilynol (gan gynnwys Wilson et al., [4] a astudiodd gyfradd ymledu mewn cotio sbin; a Danglad-Flores et al., [5] a ddaeth o hyd i ddisgrifiad cyffredinol i ragweld trwch y ffilm a adneuwyd).
Defnyddir cotio sbin yn eang mewn micro-wneuthuriad haenau ocsid swyddogaethol ar swbstradau gwydr neu grisial sengl gan ddefnyddio rhagsylweddion sol-gel, lle gellir ei ddefnyddio i greu ffilmiau tenau unffurf gyda thrwch nanoraddfa.[6]Fe'i defnyddir yn ddwys mewn ffotolithograffeg, i adneuo haenau o ffotoresist tua 1 micrometr o drwch.Fel arfer caiff ffotoresist ei nyddu ar 20 i 80 chwyldro yr eiliad am 30 i 60 eiliad.Fe'i defnyddir yn eang hefyd ar gyfer gwneuthuriad strwythurau ffotonig planar wedi'u gwneud o bolymerau.
Un fantais i sbin cotio ffilmiau tenau yw unffurfiaeth trwch y ffilm.Oherwydd hunan-lefelu, nid yw trwch yn amrywio mwy nag 1%.Fodd bynnag, gall cotio sbin ffilmiau mwy trwchus o bolymerau a photoresists arwain at gleiniau ymyl cymharol fawr y mae gan eu planarization derfynau ffisegol.